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こんなお悩み
ありませんか？
Do you have such a problem like below?
環境負荷を低減したい
もっと抑えたい
できるだけ省スペースで純水加熱装置を
使用したい
できるだけ短縮したい
その問題、
超純水加熱装置QNXTが解決します
QNXT DIW heater will solve these problems.
半導体業界に
超純水加熱装置QNXTで
エコイノベーションを
Make the Eco innovation by QNXT DIW heater in the semiconductor industry
エネルギーと水資源の節約で貢献
To help reduce the use of Energy and Water resources
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アイドル時は流量ストップで捨水なしYou can stop the flow without wasting water at idle time.
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温度維持の為の捨水も必要なしThe heater doesn’t need to waste water for keeping set temperature.
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捨水が必要ないのでその分の加熱エネルギー削減No need to waste water= No need to heat energy for it
地球温暖化物質と
プラスチック樹脂の使用量、
廃棄量削減に貢献
To help reduce the use of Global warming chemicals and Plastic
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1台で２つの温度設定が可能2 temperature controls available by 1 unit.
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ホットDIアウトレットは最大４つまで対応可能Maximum of 4 hot DI outlets available.
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従来の加熱装置2台を1台、3台を1台にすることで加熱装置に使用する電源、コールドDIインレット、エア供給ラインなどのユーティリティパーツをひとつにまとめることができるので、結果的に地球温暖化物質と樹脂の使用量削減、廃棄量削減に繋がるSince the heaters functions can be combined into 1 it leads to a decrease in plastic and amount of waste. In addition, utilities such as incoming power supply, CDIW inlet, and air supply line could be minimized to 1.
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従来の加熱装置2台を1台、3台を1台にすることでフットプリントも削減Foot print also can be reduced because QNXT can function as 2 heaters in 1 and 3 heaters in 1.
QNXTの業界唯一の
画期的な特徴
QNXT’s groundbreaking feature
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約40秒で設定温度到達、約90秒で温度安定Reach set temperature within 40 seconds, will be stable within 90 seconds.
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Reach set temperature within 40 seconds, will be stable within 90 seconds.Fast response can support sudden flow rate change rapidly
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薄膜フィルムヒーターエレメント＝熱質量小＝少量のエネルギーｋWhで設定温度までの昇温と温度維持が可能Thin film heater element = Small thermal mass = It requires less energy, kWh, to heat up UPW to temperature set point and maintain it there.
QNXT144kWヒーター
設定温度70℃、流量22LPMでの時間経過と温度変化のグラフ
QNXT 144kW Heater, 22LPM, 70 Set Point Time To Temp (°C)
QNXT72kWヒーター：設定温度95℃、流量12LPMで
途中流量を約200秒間止め再度戻した時の時間経過と温度変化のグラフ
12LPM flow with a 72kW QNXT Temperature Response Curve
Quantum NXT-R
(リサキュレーションモデル）
About Quantum NXT-R
昨今のプロセスの微細化に伴い、より高精度な温度管理が必須となってきております。
また、環境資源に対する意識も高まってきている中で節水、CO２削減は重要なキーワードとなっております。
Quantum NXT-Rは節水、低電力で環境に配慮しつつ、最先端プロセスで必要とされる超高精度な温度制御ができる最先端の純水加熱装置です。
With the increasing miniaturization of processes in recent years, more precise temperature control has become essential.
Furthermore, with growing awareness of environmental resources, water conservation and CO2 reduction have become important keywords.
The Quantum NXT-R is a state-of-the-art pure water heating system that is environmentally friendly with its water-saving and low-power consumption, while providing the ultra-high-precision temperature control required for cutting-edge processes.
セントラルボイラーシステムと
Quantum NXT-Rの特徴
QNXT’s groundbreaking feature
セントラルボイラー(集中加熱)と
Quantum NXT-R(POU加熱)の比較
Comparison of Central Boiler (Concentrated Heating) and Quantum NXT-R (POU Heating)
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セントラルボイラー（集中ループ加熱システム） Central boiler (centralized loop heating system) |
Quantum NXT-R（POU 加熱） Quantum NXT-R (POU Heating) |
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設置・加熱方式 Installation/heating method |
大型ボイラー室などで一括加熱し、長い配管で各製造設備に送る The water is heated centrally in a large boiler room and then sent to each manufacturing facility via long pipes. |
製造設備の直前（Point of Use:POU）で必要分だけ直接加熱する The required amount is directly heated at the point of use (POU) immediately before use in the manufacturing equipment. |
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エネルギー効率 Energy efficiency |
配管を循環する間、およびアイドル時の放熱ロス（熱損失）が非常に大きい The heat loss (heat dissipation) is very large while the fluid is circulating through the pipes and when the system is idle. |
石英管上の薄膜電気抵抗技術により、熱変換効率が極めて高く、放熱損が最小限 The thin-film electrical resistance technology on the quartz tube results in extremely high heat conversion efficiency and minimal heat loss. |
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水・エネルギーの無駄 Waste of water and energy |
需要に関わらず温度維持のために超純水を常に流し続けなければならない、不要時に廃棄しなければならない。 Regardless of demand, ultrapure water must be continuously circulated to maintain temperature, and it must be discarded when not needed. |
循環テクノロジーとStop-Flow(給水停止機能)により、無駄な排水と再加熱エネルギーを徹底削減 Through circulation technology and Stop-Flow (water supply stop function), wasteful wastewater and reheating energy are drastically reduced. |
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温度制御精度 Temperature control accuracy |
末端に届くまでに距離がある為、温度がブレやすく、応答時間（レスポンス）が遅い。 Because of the distance it travels to reach the end device, the temperature tends to fluctuate, and the response time is slow. |
最高±0.15℃(QNXT-R)の極めて高い精度で、流量変化にも即座に追従 With extremely high precision of up to ±0.15℃ (QNXT-R), it instantly responds to changes in flow rate. |
セントラルボイラーシステムが主流であった当時はプロセスの微細化がまだ進んでおらず、高度な温度制御がそこまで必要とされてなかったため、工場の一箇所に巨大なボイラーを置き、温水をまとめて作ってパイプで循環させる方が、設備の初期投資（イニシャルコスト）やメンテナンスを集約できて安価で効率的なので重宝されてましたが、現代はプロセスのナノレベルの微細化が進み、それに伴って高精度の温度制御が必須となり、環境配慮の面でも純水の使用量とエネルギー削減することは最優先で考慮するべき項目となっており、膨大な純水とエネルギーを消費する従来のボイラーシステムでは十分な適用が出来ません。
Quantum NXT-Rへ補完/置き換えすることでユーザーに最高レベルの温度制御精度と大幅な節水と省エネ(CO２削減）を提供します。
Back when central boiler systems were the norm, process miniaturization hadn't progressed as much, and high-precision temperature control wasn't as necessary. Therefore, placing a huge boiler in one location in the factory, centrally producing hot water, and circulating it through pipes was considered cheaper and more efficient due to the reduced initial investment and maintenance costs. However, with the advancement of nano-level process miniaturization, high-precision temperature control has become essential. Furthermore, environmental considerations such as reducing the use of pure water and energy are top priorities, and conventional boiler systems, which consume vast amounts of pure water and energy, are no longer adequately suited.By complementing or replacing Quantum NXT-R, we provide users with the highest level of temperature control precision and significant water and energy savings (CO2 reduction).
Quantum NXT-Rの温度制御データ
Quantum NXT-R temperature control data
よくあるご質問
Frequently Asked Question
流量が急に変化する環境でも安定した温度で使用することはできますか？
Could Trebor’s heater be used at stable set temperature when the flow rate environment rapidly changes?
装置に組み込まれた流入計とPID制御により流量の変化にも迅速に対応し安定した温度で使用できます。
Trebor’s DIW heater can be used at rapidly changing flow rate environment and with stable set temperature due to PID control and the internal flow meter.
現在使用している純水加熱装置から切り替えた場合にどれくらいのDIWを削減できるかを知ることはできますか？
Could we know the amount of DIW we can reduce by replacing existing heater to Trebor’s heater?
おおよそのDIWの削減量を試算させて頂きますので現在の使用環境の仕様をご教授ください。
We can calculate the amount of reduction for DIW if you let us know the current usage environment.
納入先が海外の工場となりますが、その場合の納品後のサポートはどうなりますか？
The delivery destination is overseas factory, in this case how is the support after delivering the heater?
Trebor社の代理店同士で強固なグローバルネットワークを構築しておりますので、納入先が海外であっても、現地の代理店と協力して問題等が発生した際の現場への訪問等、充実したサポートを提供致します。
We have firm global network with each Trebor distributors, even if the delivery destination is overseas , we can cooperate with local distributors and provide great support such as visiting customer’s place when some problem occurred at the customer’s site.
メンテナンスに手間は掛かりますか？
Does it require a lot of maintenance work?
本製品は他社製品と異なり接液部にOリングを使用しておりません。基本的には交換が必要なパーツはヒーターモジュールのみとなっておりますので手間はほとんど掛かりません。
Trebor’s DIW heater doesn’t use O rings. So basically only the heater module needs to be replaced, it doesn’t take a lot of work.
なぜ、Trebor社純水加熱装置は最低流量0LPMで捨水なしで温度を維持できるのですか？
Why Trebor DIW heater can keep the set temperature at 0LPM flow rate(without draining the water)?
他社のヒーターは基本的に残留エネルギーと大きな熱質量を放散する為に捨水が必要ですが、Trebor社純水加熱ヒーターは薄膜なので熱量が小さく放散される必要がある蓄積エネルギーが小さい為です。
Basically the other manufacturer’s heater need to drain the water to dissipate residual energy and a large thermal mass but the thin film on quartz heater element of Trebor DIW heater has a low thermal mass and less energy is stored that would require dissipation.
