サファイアウェットエッチング用ドラフト装置納入しました。

高輝度LED用サファイアエッチング用ドラフト装置を納入いたしました。

IMTEC社製石英バスを搭載することでサファイア基板を高温リン酸で、±0.2℃での温度制御により均一性の高いエッチングを実現しました。

この装置で世界最高レベルの高輝度LEDの製作をしています。