IMTEC社製品紹介

概要

IMTEC ACCULINE社は1972年に設立以来、高品質な製品を世界各国の半導体業界500社以上に納入してきました。特に温度コントロール石英槽の分野では、アキュバス®の名で知られており、オーバーフロー槽、ナイトライドエッチシステム等では世界のリーディングメーカーとして、その役割を果たしてきました。アキュバス®は長年の経験と研究の結果から耐久性と正確な温度コントロールを可能にしました。インコーネルヒーターを使用することにより低温度域での昇温を可能とし均一な温度分布を可能とし、また専用コントローラーとRTDセンサにより±0.2℃の精密温度コントロールを実現しました。安全面においては、熱電対とサーモスタットによる二重の過熱防止機構が備わっています。正確さ、安全性、耐久性、のどれをとっても他社に類を見ない業界でも認められた温度コントロールバスです。

特徴

・耐久性と正確な温度コントロールが可能
・低温度域での昇温を可能とし均一な温度分布が可能
・±0.2℃の精密温度コントロールが可能
・二重の過熱防止機構が備わっている
・正確さ、安全性、耐久性は世界でも認められている

IMTEC社製品一覧

ACCUBATH 純透明石英温度コントロールバス

サファイア基板ウェットエッチング用石英バス高温タイプ「Xe-Series」

データシート
Xe-Series.pdf

特徴

・薬液温度：最高300℃
・接液部：全て石英
・排液用石英製アスピレター装備
・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備
石英スタティックバスQZシリーズ

データシート
accubath_qz.pdf

特徴

・190℃まで昇温可能な高純度石英バス
・300mmウェーハまでの標準サイズに対応
・特注品即対応
石英リサーキュレーションバスQRT/Sシリーズ

データシート
acubath_qrt.pdf

特徴

・QZシリーズの石英槽にケミカルリサーキュレーションを加えたバス
・液面の問題緩和するための特許貯水機構
・30ｌ/minまでの流量で気泡の混入を防止
・特許を取得したフランジデザインによりケースへの熱影響を軽減
石英ナイトライドバスQNシリーズ

データシート
accubath_qn.pdf

特徴

・純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動／自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動
・コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給
・Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム
ステンレススタティックバスSSシリーズ

特徴

・QZシリーズと同様仕様
・溶剤やD.I.W.リンス工程などの特殊薬品に最適
・電解研磨されたSUS316でウェットサーフェイス、シームレス構造
・半導体ラボ用アプリケーションに最適
アクアシール(オプション)

データシート
aquaseal.pdf

特徴

・処理槽と外装間のシール部に水を流し、シールの腐食を防ぐ
・突発事故／故障を減少させ、生産能力を向上させる
・バスの長寿命化による、在庫、修理費用、交換時間等の軽減
・全てのバスに対応（保証30ヶ月）

ACCUHEAT

PFAインラインヒーター

データシート
accuheat_pfa_inline.pdf

特徴

・全ての接液部が高純度PFA
・Oリングなし
・PTFEハウジングによる二重構造
・昇温が早い
・メンテナンス不要
・PFAチューブで幅広い薬液に対応
・使用温度200℃まで対応
PFA溶剤インラインヒーター

データシート
accuheat_pfa_solvent.pdf

特徴

・IPAやNMPなどの加熱溶剤に最適
・全ての接液部が高純度PFA
・OリングなしでSUS鋼製で設置されたハウジング
・ハウジングの窒素パージは不活性環境を提供
・メンテナンス不要
・各種安全認証取得
・使用温度80℃/最大圧力40PSI(0.28MPa)まで対応
石英インラインヒーターSL

データシート
accuheat_sl.pdf

特徴

・インコネルヒーターを使用したインラインヒーター
・外装はテフロン(PTFE)からCPVC(FM4910準拠)によりコスト削減を実現
・高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要
・耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2)
・コンパクトサイズ。縦置き／横置き共に設置可能
・4.5KW～26KWの多彩なラインナップ
・24ヶ月保証
石英インラインヒーター

データシート
accuheat_sekiei.pdf

特徴

・インコネルヒーターを使用したインラインヒーター
・外装はテフロン(PTFE)を使用
・高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要
・耐圧性に優れる(4.2Kg/cm2)
・コンパクトサイズ。縦置き／横置き共に設置可能
・3KW～18KWの多彩なラインナップ
・24ヶ月保証

ACCMEG

メガソニック洗浄装置

特徴

・950KHzによる超音波洗浄で＜0.2μmのパーティクルを除去。
・間接方式では130℃までのプロセス温度で使用可能。
・各種タンク：スタティック、リサーキュレーション、QDR、カスケードリンス。
・各種タンク材質：石英、ステンレス、プラスチック。
・QDRはユニークな構造により1.5秒以内で排液。